橫向力/側(cè)向力顯微鏡(LFM)?側(cè)向力顯微鏡的應(yīng)用

1. 原理

探針掃描時懸臂的偏折量可以回饋成高度變化的影像，但是掃描的同時會有摩擦力的產(chǎn)生，而且摩擦力會造成探針懸臂的左右扭曲(圖7-1)，所以利用偵測懸臂的扭曲量我們可以得知試片表面摩擦力的分布，此為接觸式原子力顯微術(shù)的應(yīng)用。

圖7-1側(cè)向力顯微鏡原理[1]

2.應(yīng)用

量測表面力學(xué)特性，如摩擦力，材料表面彈性系數(shù)等。如圖7-2所示。

圖7-2 材料表面摩擦力之測量[1]

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