CM80BD研究級(jí)材料檢測(cè)顯微鏡

序號(hào)

名稱

技術(shù)參數(shù)

1

平場(chǎng)目鏡

正像大場(chǎng)高眼點(diǎn)目鏡PL10X/25mm

2

物鏡

無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡5X NA0.15 WD14.35

無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡10X NA0.30 WD8.5

無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡20X NA0.40 WD10.8

無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡50X NA0.75 WD3.0

無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡100X NA0.90 WD1.0（選購）

3

光學(xué)放大倍數(shù)

50X-500X（選購100倍物鏡后放大倍數(shù)50-1000X）

4

數(shù)碼放大倍數(shù)

150-3000X(搭配1200萬相機(jī)及100倍物鏡，顯示器22英寸情況下)

5

觀察頭

鉸鏈三通觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)：50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100：0

6

轉(zhuǎn)換器

5孔明場(chǎng)物鏡轉(zhuǎn)換器（帶DIC插槽）.

7

調(diào)焦機(jī)構(gòu)

透反射用機(jī)架, 低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程35mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)，采用數(shù)字調(diào)光，具有光強(qiáng)設(shè)定與復(fù)位功能

8

載物臺(tái)

8英寸平臺(tái)，平臺(tái)面積 525*330mm，移動(dòng)行程：210mmX210mm機(jī)械平臺(tái)，X、Y方向同軸調(diào)節(jié)；含快速移動(dòng)裝置

9

偏光組件

起偏鏡插板，360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板

10

反射照明系統(tǒng)

明暗場(chǎng)反射照明器，帶可變孔徑光闌，視場(chǎng)光闌，中心可調(diào)，帶濾色片插槽，帶起偏鏡/檢偏鏡插槽，5W可調(diào)LED燈室，預(yù)定中心

11

透射照明系統(tǒng)

5W可調(diào)LED燈室，透、反射通用，預(yù)定中心

12

聚光鏡

搖出式消色差聚光鏡（N.A.0.9）

13

攝像接口

0.65倍專用攝像接口

14

干涉組件

微分干涉板（選購）

15

顯微鏡工業(yè)相機(jī)

高清1200萬顯微相機(jī) 或2000萬像素 （選購）

16

圖像處理軟件

拍照，錄像，測(cè)量，實(shí)時(shí)圖像拼接，景深融合等（選購）

17

標(biāo)尺

高精度型測(cè)微尺，格值0.01m 總長(zhǎng)1mm（選購）

18

晶圓轉(zhuǎn)臺(tái)

8寸通用晶圓轉(zhuǎn)臺(tái)兼容6/4寸（選購）