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CMY-420科研級(jí)三目正置大平臺(tái)金相顯微鏡半導(dǎo)體晶圓材料分析

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CMY-420科研級(jí)三目正置大平臺(tái)金相顯微鏡采用優(yōu)良的無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)與模塊化功能設(shè)計(jì)理念,可以方便升級(jí)系統(tǒng),儀器配有偏光裝置可實(shí)現(xiàn)偏光觀察同時(shí)可選配暗裝置及微分干涉裝置。儀器緊湊穩(wěn)定的高剛性主體,充分體現(xiàn)了顯微操作的防振要求。符合人機(jī)工程學(xué)要求的理想設(shè)計(jì),使操作更方便舒適,空間更廣闊,圖像清晰、襯度好。適用于薄片試樣的金相、礦相、巖相、晶體等結(jié)構(gòu)分析和鑒別,電子芯片的檢查或用于觀察材料表面特性,如:劃痕、裂紋、噴涂的均勻性等及紡織纖維、化學(xué)顆粒的分析研究。是生物學(xué)、金屬學(xué)、礦物學(xué)、精密工程學(xué)、電子學(xué)等研究的理想儀器??偡糯蟊稊?shù):50X-800X

 

顯微鏡參數(shù):

 

序號(hào)

名稱

技術(shù)參數(shù)

1

平場目鏡

大視野 WF10X(Φ22mm)

2

無限遠(yuǎn)長距平場物鏡

PL L5X/0.12   工作距離:26.1 mm

PL L10X/0.25  工作距離:20.2 mm

PL L20X/0.40  工作距離:8.80 mm

PL L50X/0.70  工作距離:3.68 mm

PL L80X/0.80  工作距離:1.25 mm

3

總放大倍數(shù)

50X-800X

4

觀察頭

三目鏡,傾斜30?,(內(nèi)置檢偏振片,可進(jìn)行切換)

5

轉(zhuǎn)換器

五孔 (外向式滾珠內(nèi)定位

6

粗微調(diào)調(diào)焦范圍

粗微動(dòng)同軸調(diào)焦, 微動(dòng)格值0.7μm, 粗動(dòng)松緊可調(diào),帶鎖緊和限位裝置

7

載物臺(tái)

機(jī)械式載物臺(tái),外形尺寸:280mmX270mm,移動(dòng)范圍:橫向(X204mm,縱向(Y204mm

8

光瞳距離

53-75mm

9

濾色片

(黃、藍(lán)、綠、磨砂玻璃)濾色片轉(zhuǎn)換裝置

10

偏光裝置

推拉式檢偏器與起偏器

11

落射照明系統(tǒng)

6V30W鹵素?zé)?/span>,亮度可調(diào)內(nèi)置視場光欄、孔徑光欄

 

12

儀器重量

凈重11.0公斤    毛重12.5公斤

13

儀器尺寸

儀器尺寸44X45X42cm 包裝尺寸45X50X50(cm)

 

注意事項(xiàng):
儀器成套性與可選購件可參考產(chǎn)品原頁面,本頁只提供儀器核心技術(shù)參數(shù)。
產(chǎn)品價(jià)格均含有商品運(yùn)費(fèi)(大陸地區(qū)除外)及發(fā)票的價(jià)格但是不包含工程師上門培訓(xùn)及調(diào)試的費(fèi)用。
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