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序號(hào)
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名稱(chēng)
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技術(shù)參數(shù)
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1
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平場(chǎng)目鏡
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正像大場(chǎng)高眼點(diǎn)目鏡PL10X/25mm
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2
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物鏡
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無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡5X NA0.15 WD14.35
無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡10X NA0.30 WD8.5
無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡20X NA0.40 WD10.8
無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡50X NA0.75 WD3.0
無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡100X NA0.90 WD1.0（選購(gòu)）
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3
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光學(xué)放大倍數(shù)
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50X-500X（選購(gòu)100倍物鏡后放大倍數(shù)50-1000X）
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4
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數(shù)碼放大倍數(shù)
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150-3000X(搭配1200萬(wàn)相機(jī)及100倍物鏡，顯示器22英寸情況下)
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5
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觀察頭
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鉸鏈三通觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)：50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100：0
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6
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轉(zhuǎn)換器
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5孔明場(chǎng)物鏡轉(zhuǎn)換器（帶DIC插槽）.
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7
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調(diào)焦機(jī)構(gòu)
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透反射用機(jī)架, 低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程35mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)，采用數(shù)字調(diào)光，具有光強(qiáng)設(shè)定與復(fù)位功能
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8
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載物臺(tái)
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6英寸平臺(tái)，平臺(tái)面積 450*240mm，移動(dòng)行程：158mmX158mm機(jī)械平臺(tái)，X、Y方向同軸調(diào)節(jié)；含快速移動(dòng)裝置
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9
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偏光組件
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起偏鏡插板，360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板
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10
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反射照明系統(tǒng)
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明暗場(chǎng)反射照明器，帶可變孔徑光闌，視場(chǎng)光闌，中心可調(diào)，帶濾色片插槽，帶起偏鏡/檢偏鏡插槽，5W可調(diào)LED燈室，預(yù)定中心
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11
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透射照明系統(tǒng)
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5W可調(diào)LED燈室，透、反射通用，預(yù)定中心
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聚光鏡
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搖出式消色差聚光鏡（N.A.0.9）
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攝像接口
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0.65倍專(zhuān)用攝像接口
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干涉組件
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微分干涉板（選購(gòu)）
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顯微鏡工業(yè)相機(jī)
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高清1200萬(wàn)顯微相機(jī) 或2000萬(wàn)像素 （選購(gòu)）
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圖像處理軟件
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拍照，錄像，測(cè)量，實(shí)時(shí)圖像拼接，景深融合等（選購(gòu)）
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標(biāo)尺
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高精度型測(cè)微尺，格值0.01m 總長(zhǎng)1mm（選購(gòu)）
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晶圓轉(zhuǎn)盤(pán)
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8寸通用晶圓轉(zhuǎn)臺(tái)兼容6/4寸（選購(gòu)）
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